文章摘要:温度补偿型声表面波（TC-SAW）器件的非线性研究对高性能射频滤波器的优化设计非常重要.本文充分结合几何、材料和体波非线性影响因素,从有限振幅声波非线性电-弹理论出发,推导了高阶非线性偏微分波动方程及其弱解形式,建立准3D有限元非线性模型计算TC-SAW谐振器的非线性响应精确解.在不同结构条件下,仿真与测量结果一致.利用二阶电荷量代替二阶谐波响应,阐明了非线性体波模式产生的机理.全面考虑不同非线性效应和不同材料非线性常数对高阶谐波的贡献,计算结果表明高阶谐波主要受到非线性弹性效应的影响,且SiO₂高阶材料常数对非线性贡献最大.

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论文分类号:TN65

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